以废弃电子级硅片回收高纯硅的工艺研究

• 作者: 徐华毕 李仲吉 李青松 梁宗存 沈辉
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 废弃电子级硅片 回收 喷砂 化学腐蚀
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 560-563
• 页数: 4页
• 分类号: TK511+.4
• 字数: 1882字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2008.05.011

摘要

讨论了来源于半导体器件行业的废弃电子级硅片的回收处理工艺.首先对不同样品进行分类,然后对硅片表面金属杂质层进行喷砂或化学腐蚀处理;并对样品进行了扫描电镜(SEM)、电学性能和痕量杂质元素方面的测试和分析.结果表明使用该方法回收处理废弃硅片切实可行,并能有效地节约利用高纯硅材料,对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈辉	中山大学太阳能系统研究所	121	1808	24.0	37.0
2	梁宗存	中山大学太阳能系统研究所	15	71	4.0	8.0
3	徐华毕	中国科学院广州能源研究所	1	1	1.0	1.0
7	李青松		1	1	1.0	1.0
8	李仲吉		1	1	1.0	1.0