一种纳米孔洞阵列金膜制备方法

• 作者: 李振 王卫宁 王覃 赵新颖
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: AAO模板 磁控溅射 纳米孔洞阵列金膜 纳米复制
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TG1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2008.03.010

摘要

以多孔阳极氧化铝膜(anodic aluminum oxide,AAO)为模板,用磁控溅射的方法制备纳米孔洞阵列金膜,SEM结果表明,制备得到的纳米孔洞阵列金膜形貌与AAO模板形貌一致,孔洞阵列规则,孔径大小均匀.此方法适合于纳米孔洞阵列金膜的复制,为纳米线、量子点等纳米阵列材料的组装与合成提供新的条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵新颖		55	324	9.0	15.0
2	王覃		22	184	7.0	13.0
3	李振	北京市纳米光电子学重点实验室首都师范大学物理系	2	2	1.0	1.0
4	王卫宁	北京市纳米光电子学重点实验室首都师范大学物理系	1	2	1.0	1.0