HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果

• 作者: 周伟峰 明星 李斗熙 林承武 郭建 金基用
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 半色调掩膜 灰色调掩膜 薄膜晶体管液晶显示器 曝光 衍射
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 327-333
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|TN141.9
• 字数: 864字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2008.03.014

摘要

针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析.文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析.给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭建		8	24	3.0	4.0
2	金基用		3	72	2.0	3.0
3	明星		2	6	2.0	2.0
4	周伟峰		2	7	2.0	2.0
5	李斗熙		5	18	2.0	4.0
6	林承武		4	26	2.0	4.0