过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响

• 作者: WANG Ying-jian ZHANG Xin-yue 姚宁 张兵临
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶碳薄膜 过渡层 场发射 功函数
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 942-945
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2374字
• 语种: 中文

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si(111)面上制备出了纳米非晶碳薄膜.为改善薄膜的场发射性能,在研磨好的Si基底上运用直流磁控溅射法沉积了一层金属过渡层.本文分别选择三种常见金属:钛(Ti)、鉬(Mo)、镍(Ni)来作对比试验.结果发现用钛作为过渡层时薄膜场发射效果最好,主要表现为开启电场低,同一电场下发射电流大,发射点密度较大且分布均匀等.利用迭代法计算了钛作为过渡层时制备的纳米非晶碳薄膜的有效发射面积和功函数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	ZHANG Xin-yue	郑州大学材料物理教育部重点实验室	1	6	1.0	1.0
4	WANG Ying-jian	郑州大学材料物理教育部重点实验室	1	6	1.0	1.0