基于MEMS技术的微波滤波器研究进展

• 作者: 张永华 欧阳炜霞 王超 赖宗声 郭兴龙
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 硅体微加工 LIGA技术 微波滤波器 可调滤波器
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 214-218,234
• 页数: 6页
• 分类号: TN713|TH703
• 字数: 3246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.006

摘要

基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件.与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点.对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结.综述了近几年MEMS滤波器的研究进展,包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器.指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要,具有重要的现实意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖宗声	华东师范大学微电子电路与系统研究所	136	779	13.0	18.0
2	王超	华东师范大学微电子电路与系统研究所	19	36	4.0	5.0
3	郭兴龙	华东师范大学微电子电路与系统研究所	9	41	4.0	6.0
4	张永华	华东师范大学微电子电路与系统研究所	15	58	5.0	7.0
5	欧阳炜霞	华东师范大学微电子电路与系统研究所	6	28	3.0	5.0