宽带隙化合物半导体Zn1-xMgxO薄膜的制备

• 作者: 张晓丹 张霞 杨瑞霞 赵颖 边楠
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超声喷雾热分解 Zn1-xMgxO薄膜 宽带隙半导体 禁带宽度
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 1361-1364
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2402字
• 语种: 中文

摘要

利用超声雾化热分解技术,在玻璃衬底上生长出宽带隙的Zn1-xMgxO薄膜.所有样品在可见光范围内的透过率可达到85%以上.X射线衍射的测试结果表明所有样品都具有c轴择优生长特性,并且随薄膜中Mg含量的不同出现规律性变化.光致发光谱表明Mg掺入后ZnO薄膜的紫外发射峰出现了蓝移,实现了对禁带宽度的调节.