V型电热硅微致动器动态频率特性

• 作者: 张永宇 杜向阳 陈晓阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微致动器 电热 多晶硅 动态特性 MEMS
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 615-618
• 页数: 4页
• 分类号: TH122
• 字数: 1916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.021

摘要

提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型.考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可进行其模态分析及动态频率特性的理论研究.利用自行设计制造的在线动态测试机构,测试了V型电热硅微致器在不同激励电压驱动下的响应输出,结果表明其位移输出也是随交变驱动电压的变化而非同步地发生变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓阳	上海大学机电工程与自动化学院	138	1179	18.0	25.0
2	杜向阳	上海工程技术大学机械工程学院	32	92	5.0	9.0
3	张永宇	上海工程技术大学机械工程学院	6	18	3.0	4.0