基于MEMS技术的光学读出红外成像系统

• 作者: 吴文捷 孔凡武 王琨 赵捷
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光学读出热成像 衍射光栅 图像重建
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 38-44
• 页数: 7页
• 分类号: TN215|TP212.14
• 字数: 6330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.01.010

摘要

提出了一种利用悬梁式热感应薄膜阵列、衍射光栅和图像重建技术来实现高灵敏光学读出红外成像的装置和方法.与传统的光学读出红外成像技术相比,该装置采用彩色CCD设计来提高系统灵敏度,具有结构简单、成本低廉的优越性,适用于对速度指标要求不高的应用领域.制备了试验结构并进行了红外测试,证明在人体红外信号作用下,悬臂自由端能产生较大幅度的偏转,随之彩色CCD读出了全可见光波长范围的颜色变化.经估算,系统的噪声等效温度差大大超过目前200 mK的水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴文捷		1	0	0.0	0.0
2	孔凡武		1	0	0.0	0.0
3	王琨		1	0	0.0	0.0