SrTiO3薄膜生长初期Sr,Ti,O原子分子反应机理的理论研究

• 作者: 李来才 李言荣 杨春 王佩怡
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SrTiO3薄膜 反应机理 活化能
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2340-2346
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 4048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.04.055

摘要

在激光分子束外延(LMBE)生长SrTiO3(STO)薄膜过程中,激光闪蒸出的Sr,Ti,O原子的微观反应过程及粒子形态是STO薄膜生长初期形成的关键.采用密度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA)方法,在PW91/DNP水平上研究了Sr,Ti,O原子在真空中的优先反应过程和形态,计算研究了SrO,TiO2和STO分子形成的反应机理,获得了相应的中间体和过渡态及反应活化能,并运用前线轨道理论分析了STO分子的形成机理.对比计算了STO分子可能的几何构型,得到了比较稳定的构型,其几何特征与STO单胞部分相似.计算研究表明,SrO,TiO2,STO分子是LMBE外延生长STO薄膜初期的主要粒子形态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	115	824	15.0	21.0
2	杨春	四川师范大学计算机软件实验室	35	313	10.0	16.0
6	李来才	四川师范大学化学与材料科学学院	135	488	10.0	13.0
7	王佩怡	四川师范大学计算机软件实验室	3	17	2.0	3.0