提高玻璃封装二极管可靠性的研究

• 作者: 王海风 田海兵 罗春炼 韩文爵
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二极管 超细氧化锆 ZnO-B2O3-SiO2 微晶玻璃 增韧 可靠性
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(先进封装技术)
• 页码范围: 961-964,1040
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.95
• 字数: 2910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.11.006

摘要

利用超细ZrO2在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中的同素异构转变带来的体积效应来增加二极管封装玻璃的韧性和二极管的可靠性.在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中添加一定量的超细ZrO2粉粒,弥散均匀,用烧结法制得ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃,使用AKASHI压痕法,测试材料增韧前后的效果.使用XRD测试验证在玻璃封装二极管的工艺温度下能保持t-ZrO2和m-ZrO2晶型应具有的特征相.实验证明添加超细ZrO2后,ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃材料的韧性有很大的提高.经功率二极管玻璃封装工艺流程实验和二极管的理化性能考核,引人适当含量的超细ZrO2能提高玻璃封装二极管的抗热冲击性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海风	东华大学材料科学与工程学院	53	143	7.0	8.0
3	韩文爵	东华大学材料科学与工程学院	13	61	6.0	7.0
9	罗春炼	东华大学材料科学与工程学院	5	18	3.0	4.0
13	田海兵	东华大学材料科学与工程学院	3	8	1.0	2.0