纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力

• 作者: 卢文壮 左敦稳 张海余 徐锋 王珉
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石膜 热丝化学气相沉积 弹性模量 残余应力 栅极偏流 衬底偏流
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 74-78
• 页数: 5页
• 分类号: TQ161.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2008.01.015

摘要

采用双偏压热丝化学气相沉积法在不同栅极和衬底偏流下制备出纳米金刚石薄膜.采用Raman谱、SEM、AFM、纳米压痕法和XRD分析纳米金刚石膜的微结构、弹性模量和残余应力.分析结果表明,金刚石晶粒尺寸随着栅极和衬底偏流的增加而减小,而衬底偏流的加入会引起非金刚石成分的显著增加.金刚石晶界的畸变使得弹性模量随着栅极和衬底偏流的增加而减小,薄膜热应力也随之减小.晶界非金刚石成分引起金刚石本征应力呈压应力性质,晶界密度的增加使得本征应力随着栅极偏流的增加而增加,但衬底偏流引起薄膜抵抗变形能力剧烈下降,导致金刚石本征压应力的减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
4	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
5	张海余	南京航空航天大学机电学院	2	28	2.0	2.0