超声椭圆振动化学机械抛光原理与实验系统

• 作者: 吴勇波 徐家文 杨卫平
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声 椭圆振动 化学机械抛光 复合抛光
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 753-757
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 3527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.2008.06.007

摘要

介绍了抛光工具超声椭圆振动产生的基本原理,并实际测试了抛光工具的椭圆运动特性.从理论上分析了在抛光工具上加入超声椭圆振动后,对改善和提高抛光效果的作用机理.在上述研究工作基础上,建立了超声椭圆振动辅助抛光实验系统并进行了实验研究.结果表明,该超声椭圆振动辅助抛光法对硅片抛光表面质量、材料去除率均有较显著的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐家文	南京航空航天大学机电学院	144	1614	20.0	32.0
2	杨卫平	南京航空航天大学机电学院	6	38	3.0	6.0