微驱动器的压电-弹性耦合分析

• 作者: 任建兴 周兆英 朱荣 李丽伟
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 压电驱动 耦合分析 弹性薄板理论 瑞利-黎兹能量法
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 532-537
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.09.009

摘要

压电弹性耦合结构是实现MEMS微流体驱动的一种重要方式,掌握压电-弹性振动的耦合机理是微流体驱动协调控制的关键.针对压电与硅膜耦合微驱动结构,基于压电效应和弹性薄板理论,采用Rayleigh-Ritz能量法建立了周边固支边界条件下,弹性振动硅膜与压电驱动膜片耦合振动的理论模型,推导并计算了该微驱动结构的耦合振型及谐振频率.基于激光测振仪进行了该压电微驱动结构的振动测试实验,经实验模态分析获得了实测的谐振频率.理论计算结果与实验测试结果的对比分析表明,两者基本相符,验证了理论分析模型的正确性,为MEMS微流体的驱动与控制提供了一定的理论基础和实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英		205	3706	31.0	54.0
2	任建兴		164	1257	20.0	28.0
3	朱荣		26	123	7.0	10.0
4	李丽伟		18	20	2.0	2.0