静电致动硅膜板的宏模型建立方法

• 作者: 应济 林谢昭 陈子辰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 宏模型 模态分析 静电驱动 微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 全国第六届精密工程学术研讨会专栏
• 页码范围: 839-844
• 页数: 6页
• 分类号: TH16|TN405
• 字数: 3012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.05.014

摘要

器件宏模型技术是微机电(MEMS)系统设计和系统级仿真的关键技术.为了建立静电致动硅膜板的宏模型,在运用有限元进行模态分析的基础上,利用多变量非线性函数拟合方法,将由数值计算得到的静电器件系统的动能、弹性能和电容写成模态广义坐标表示的解析式,导出以模态坐标表达的器件系统动力学方程,即宏模型.利用该宏模型研究了器件的静态、动态特性,并与有限元计算结果进行比较.结果表明:用模态坐标表达的动态宏模型能够考虑残余应力、大变形、静电力等非线性因素的影响,大大地减少了计算费用,而且具有足够的仿真精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈子辰	浙江大学机械与能源学院	272	5059	38.0	56.0
2	应济	浙江大学机械与能源学院	41	442	11.0	19.0
3	林谢昭	浙江大学机械与能源学院	21	372	6.0	19.0