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层板喷注器光刻工艺技术研究
液体火箭发动机
层板喷注器
光刻
一种新型陶瓷机械喷刻工艺与传统手工雕刻工艺的比较
传统手工雕刻
新型陶瓷喷刻
工艺
比较
红木雕刻工艺的文化传承
红木雕刻工艺
文化传承
发展现状
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 光刻工艺降低高端MMIC成本
来源期刊 半导体信息 学科 工学
关键词 光刻工艺 MMIC PHEMT 汽车雷达 使用标准 技术形成 光阻 批量生产 技术人员
年,卷(期) 2008,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 15-15
页数 1页 分类号 TN305.7
字数 语种
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五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
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2008(0)
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研究主题发展历程
节点文献
光刻工艺
MMIC
PHEMT
汽车雷达
使用标准
技术形成
光阻
批量生产
技术人员
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
双月刊
16开
南京市1601信箱43分箱(南京市中山东
1990
chi
出版文献量(篇)
5953
总下载数(次)
11
总被引数(次)
664
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