声表面波传感器检测电路的研究

• 作者: 朱嘉林 李永刚 李炜
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 传感器 直接数字频率合成 测试电路 延迟线
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 601-605
• 页数: 5页
• 分类号: TN65|TP212.9|TN702
• 字数: 2811字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.10.009

摘要

针对目前声表面波(SAW)传感器检测电路的缺点,通过对SAW传感器信号的特征分析,设计了一种简单实用的SAW传感器检测电路,降低了硬件成本.该电路利用直接数字频率合成技术产生不同的频率信号,用以激励不同谐振频率的声表面波敏感元件,在间歇收发周期从SAW传感器输出信号中提取出反映被测量的频率信号,通过对该频率的测量得到被测物理量的变化.通过对SAW传感器的温度实验,获得了传感器的温度一频率特性,在较低频率(20 MHz)时检测灵敏度可达1.36 kHz/℃,具有较好的一致性;在较高频率(75 MHz)时检测灵敏度可达2.03 kHz/℃,存在一定偏差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李炜		3	12	2.0	3.0
2	朱嘉林		50	167	7.0	10.0
3	李永刚		1	8	1.0	1.0