制备工艺对多孔阳极氧化铝模板的影响

• 作者: 付琳捷 李美亚 江华 汪晶 郭冬云
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极氧化铝模板 纳米孔 草酸溶液 二次氧化 阴阳极间距
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 109-113
• 页数: 5页
• 分类号: TQ133.1|TB383
• 字数: 2563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.02.011

摘要

以草酸溶液为电解液,采用二次氧化法制备了AAO模板,利用自制的实验装置,制备出了高度有序的多孔AAO模板,利用扫描电子显微镜(SEM)对其形貌进行了表征.分析了阴阳极间距、制备电压以及草酸溶液浓度对制备AAO模板的影响.经对比讨论,得到了制备AAO模板的优化条件为电压40V,草酸浓度0.5mol/L,阴阳极间距3～5cm.制备的AAO模板的纳米孔径约为100nm,纳米孔径排列规则、笔直且互相平行.分析了多孔AAO模板的形成机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李美亚	武汉大学物理科学与技术学院	29	85	5.0	6.0
5	汪晶	武汉大学物理科学与技术学院	8	47	3.0	6.0
6	郭冬云	武汉大学物理科学与技术学院	8	32	4.0	5.0
10	江华	武汉大学物理科学与技术学院	10	88	4.0	9.0
11	付琳捷	武汉大学物理科学与技术学院	2	7	2.0	2.0