电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究

• 作者: 曾庆丰 邓永和
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 乙醇气体敏感元件 灵敏度 添加剂 电化学 响应与恢复时间
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 416-418,431
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.07.009

摘要

在WO3粉体材料中加入一定质量比的添加剂(Pt、Pd、PtO2、PdCl2、Sno2、SiO2、Al2O3),恒温600℃烧结1 h制成旁热式厚膜乙醇气体敏感元件.采用静态电压测量法,研究了元件的加热电压与元件灵敏度β的关系以及添加剂对元件的响应与恢复时间的影响.实验结果表明:乙醇的气体体积分数为10-3,WO3元件掺入质量分数为0.5%的PdCl2,在加热功率为600 mW下元件的响应与恢复时间分别为9.0 s和11.0 s,与纯WO3元件相比元件的灵敏度提高了约8倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓永和	湖南工程学院数理系	36	138	5.0	10.0
2	曾庆丰	贵州大学理学院	8	21	3.0	4.0