微观粘着测试技术研究进展

• 作者: 刘莹 周顺斌 郑华军
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 微观粘着 粘着力 粘着测试装置 测试技术
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 综述与分析
• 页码范围: 99-103
• 页数: 5页
• 分类号: TH117
• 字数: 2596字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2008.06.027

摘要

微构件粘附是造成微机电系统(MEMS)失效的主要原因,也是导致MEMS性能不稳定难以走向市场的关键所在.因此,对于MEMS粘着问题的研究,微观粘着测试技术显得极为重要.综述了国内外微观粘着测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变片、光学检测、电容式传感器、压电式力传感器和分析天平等原理的粘着测试装置,分析了它们的工作原理和特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	郑华军	南昌大学机电工程学院	2	1	1.0	1.0
3	周顺斌	南昌大学机电工程学院	3	54	2.0	3.0