用于纳米操作的硅基集成式微型 xy 定位平台

• 作者: 孙立宁 李欣昕 王家畴 荣伟彬
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 集成式微型xy定位平台 静电梳齿致动器 面内垂直侧壁表面压阻
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1932-1938
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.10.017

摘要

针对纳米级定位平台小型化和高定位精度的要求,基于体硅工艺研制出一种集结构、驱动和位移检测一体化的集成式微型纳米级xy定位平台.采用体硅双面深度反应离子刻蚀(DRIE)技术释放出高深宽比的静电梳齿驱动器、检测梁及定位平台结构.由于定位平台属于面内运动,为了提高面内运动位移榆测的灵敏度提出了一种利用离子注入工艺和DRIE技术相结合制作检测梁侧壁压阻的方法.并利用该侧壁压阻工艺成功地把基于侧壁压阻式的位移传感器集成到微型xy定位平台上.实验测试表明,位移传感器的灵敏度优于1.17mV/μm,线形度优于0.814%,当驱动电压取30V时,定位平台的单轴输出位移可达±10/μm,并且定位平台x方向和y方向上的位移耦合量非常小;在空气条件下测得定位平台的一阶固有频率为983Hz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王家畴	哈尔滨工业大学先进机器人与系统国家重点实验室	10	92	6.0	9.0
2	荣伟彬	哈尔滨工业大学先进机器人与系统国家重点实验室	98	1491	23.0	33.0
3	孙立宁	哈尔滨工业大学先进机器人与系统国家重点实验室	379	7003	43.0	61.0
4	李欣昕	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室	3	2	1.0	1.0