氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响

• 作者: 余学超 汪建华 王传新 皮华滨 邢文娟
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧等离子体 金刚石薄膜 硬质合金刀具 附着性能
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 689-693,698
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2409字
• 语种: 中文

摘要

本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况.经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王传新	武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室	34	121	6.0	8.0
2	汪建华	武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
3	皮华滨	武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室	5	27	3.0	5.0
4	邢文娟	武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室	4	9	2.0	3.0
5	余学超	武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室	4	16	2.0	4.0