铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜

• 作者: 刘伟 张佳雯 方晓玲 晏春愉 王建军 高斐
• 来源期刊: 现代显示
• 学科: 工学
• 关键词: 铝诱导晶化 多晶硅薄膜 晶化机理
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6268.2008.01.012

摘要

多晶硅薄膜在微电子和能源科学领域有着广泛的应用.本文介绍了利用铝诱导晶化非晶硅制备多晶硅薄膜的方法,叙述了铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜的一般过程,着重讨论了铝诱导晶化非晶硅的机理和在制备过程中各种参数对多晶硅薄膜质量的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高斐	陕西师范大学物理与信息技术学院	26	39	3.0	5.0
2	刘伟	陕西师范大学物理与信息技术学院	39	292	9.0	16.0
3	晏春愉	陕西师范大学物理与信息技术学院	8	22	3.0	4.0
4	张佳雯	陕西师范大学物理与信息技术学院	8	22	3.0	4.0
5	方晓玲	陕西师范大学物理与信息技术学院	8	21	3.0	4.0
6	王建军	陕西师范大学物理与信息技术学院	11	30	4.0	5.0