基于Fabry-Perot腔阵列光谱传感器的集成化研究

• 作者: 孙建新 张雪静 温志渝 王建国
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS Fabry-perot腔 光电探测器 读出电路
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.01.010

摘要

提出了一种微型集成化光谱传感器,其结构包括不同腔长的Fabry-Perot腔阵列、光电探测器阵列、读出电路几部分.一个光谱探测单元包括一个Fabry-Perot腔和其下的光电探测器,各Fabry-Perot腔腔长的不同,可实现对不同波长的检测.该光谱传感器无可动部件,结构性能稳定,用CMOS工艺和MEMS工艺实现一体化集成,制作体积为mm量级.文章中将详细阐述该传感器的各部分结构设计和工艺实现等问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建国	重庆大学微系统研究中心光电技术及系统教育部重点实验室	23	239	7.0	15.0
2	温志渝	重庆大学微系统研究中心光电技术及系统教育部重点实验室	143	1259	18.0	26.0
3	张雪静	重庆大学微系统研究中心光电技术及系统教育部重点实验室	3	34	2.0	3.0
4	孙建新	重庆大学微系统研究中心光电技术及系统教育部重点实验室	2	4	1.0	2.0