应用于射频范围的软磁薄膜研究进展

• 作者: 何华辉 冯则坤 别少伟 江建军
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子技术 软磁 综述 薄膜 射频
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: O482.54
• 字数: 6895字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.05.001

摘要

探讨了获得具有优良高频电磁性能的软磁薄膜的合适工艺条件.指出薄膜的性能主要取决于薄膜的成分、微观组织、磁致伸缩系数、残余应力状态、有无软磁底层、外加磁场溅射沉积和后续磁场热处理等因素.以Fe70Co30为基的软磁薄膜和Fe(Co)-X-N纳米晶软磁薄膜主要应用于要求高饱和磁化强度的器件如磁头中,磁性纳米颗粒膜具有高的电阻率因而趋肤深度较大,有望应用于高频微磁器件如微电感、微变压器的磁芯中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江建军	华中科技大学电子科学与技术系	105	993	18.0	25.0
2	别少伟	华中科技大学电子科学与技术系	16	115	7.0	9.0
3	何华辉	华中科技大学电子科学与技术系	110	1350	20.0	29.0
4	冯则坤	华中科技大学电子科学与技术系	109	961	18.0	25.0