半导体制造业MES中的生产计划调度研究

• 作者: 左燕 王建中 薛安克
• 来源期刊: 自动化仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 制造执行系统 计划 调度 半导体制造业 拟实调度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 专题:MES制造执行系统
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TP27
• 字数: 3294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0380.2008.02.004

摘要

生产计划调度是制造执行系统的核心.基于半导体制造业生产特点,研究了半导体制造业MES中的生产计划调度问题,给出生产计划调度系统的基本构架.根据客户需求制定生产计划,再细化为车间层可操作的作业计划,确定每台设备上加工安排,通过拟实调度处理动态不确定问题.通过生产计划制定、作业计划生成和拟实调度可以实现半导体制造生产过程平稳进行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛安克	杭州电子科技大学自动化学院	104	687	13.0	20.0
2	左燕	杭州电子科技大学自动化学院	24	53	5.0	5.0
3	王建中	杭州电子科技大学自动化学院	59	341	10.0	14.0