扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究

• 作者: 仝凌志 权哲浩 林玉池 赵关蓉 金日光
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描隧道显微镜 微动台 压电陶瓷 尺蠖运动 有限元分析
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 74-76,79
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.65|TN384
• 字数: 1485字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.04.024

摘要

设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜(STM)机械机构,利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析,对其静态、模态特性进行了实验研究.结果表明:微动台具有较大的行程和较好的稳定性,载物力可以达到16.7N,最小步距约8.8nm,行程14mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林玉池	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	135	1717	21.0	34.0
2	权哲浩	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	3	10	2.0	3.0
6	仝凌志	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	2	9	2.0	2.0
7	赵关蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	2	17	2.0	2.0
8	金日光	金日成综合大学物理学院	1	5	1.0	1.0