八臂梁硅微加速度计横向灵敏度仿真分析

• 作者: 岳连永 满仲鹏 陈智刚
• 来源期刊: 弹箭与制导学报
• 关键词: MEMS 硅微加速度计 加速度 仿真
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 相关技术
• 页码范围: 295-297
• 页数: 3页
• 分类号: TN966
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9728.2008.04.089

摘要

应用ANSYS软件对MEMS器件--八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真.仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度,分析另外两个轴的输出,便可以得出其横向灵敏度.依据仿真结果,可先求出各个输出轴对应的梁的应力,即可算出其电阻的变化量,从而计算出输出轴的输出电压.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈智刚	中北大学机械电子工程学院	112	422	10.0	13.0
2	岳连永	中北大学机械电子工程学院	2	5	1.0	2.0
3	满仲鹏	中北大学机械电子工程学院	1	0	0.0	0.0