氮化硅纳米薄膜非平衡热导率实验研究

• 作者: 何燕 李海涛 段占立 王向宁 马连湘
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅薄膜 热导率 非平衡 3ω方法
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 92-96
• 页数: 5页
• 分类号: TB6
• 字数: 2781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2008.08.019

摘要

3ω实验方法是一种可以对薄膜热导率进行瞬时测量的方法.根据3ω方法测试原理,搭建了薄膜导热系数测试平台,并且分别测试低频率段和高频段薄膜与基底的温升以及薄膜热导率.测试结果表明: Si3N4薄膜的热导率随温度的升高而增大;高频段下,热导率受频率影响大,误差大;在低频段下薄膜热导率与频率变化基本无关;基于电子与声子的局部热平衡运输方程假设,Si3N4薄膜的热导率具有极度非平衡性;通过比较电阻、热导率与温度的关系可以看出加热器的尺寸大小会影响薄膜的热导率,最佳加热器的宽度选用20μm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马连湘	青岛科技大学机电工程学院	133	724	13.0	17.0
2	何燕	青岛科技大学机电工程学院	123	471	11.0	13.0
3	王向宁	青岛科技大学机电工程学院	4	11	3.0	3.0
4	李海涛	青岛科技大学机电工程学院	26	83	6.0	7.0
5	段占立	青岛科技大学机电工程学院	5	30	3.0	5.0