铝膜电导率尺寸效应对其微波性能的影响

• 作者: 刘志敏 杜昊 石南林 闻立时
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铝膜 电导率 尺寸效应 微波吸收率 传输矩阵法
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 页码范围: 1099-1104
• 页数: 6页
• 分类号: O484.5|TB43
• 字数: 4091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2008.09.014

摘要

采用中频磁控溅射法(MFMS)制备不同厚度的铝膜;利用直线型四探针法测量不同厚度铝膜的电导率,研究了铝薄膜直流电导率随厚度的变化关系(尺寸效应);用矢量网络分析仪测量了铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构微波吸收率;研究了电导率尺寸效应对铝膜微波吸收性能的影响.结果表明:薄膜厚度对铝膜的电导率有明显影响;在铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构中,铝膜电导率的变化对复合结构的吸收率峰值影响不大,但对与吸收峰值对应的铅膜厚度影响显著.利用传输矩阵方法验证了实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闻立时	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	117	1859	24.0	36.0
2	石南林	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	31	215	9.0	13.0
3	刘志敏	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	16	266	5.0	16.0
4	杜昊	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	24	169	8.0	11.0