基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计制作

• 作者: 李昕欣 王跃林 肖素艳 车录锋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性MEMS 触觉传感器 聚酰亚胺(PI) 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 280-283
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 2224字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.024

摘要

论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法.该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构.结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合.尤其首次在载体硅片与PI衬底之间引进PDMS分离层,使得柔性器件的分离工艺大大简化.最后得到一种简单、低廉且与常规MEMS技术兼容的工艺.所制的传感器结构轻薄,可挠性好,且能贴附在任意形状的物体表面同时实现法向力和切向力的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0