基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为表征

• 作者: 俞瑞霞 周向阳 王海容 蒋庄德
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 纳米压入 力学性能 尺度效应 高分子聚合物 纳米材料 形状记忆合金
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 199-206
• 页数: 8页
• 分类号: O343|O484.5|TG115.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2008.02.005

摘要

准确了解微/纳米特征尺度条件下材料的力学性能是MEMS/NEMS(micro/nano electro-mechanical system)材料实际应用的一个关键前提条件.文中研究基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为的表征方法,包括高聚物、一维结构纳米材料和形状记忆合金等.研究结果表明,纳米压人技术是评定这些新型MEMS/NEMS材料力学性能的有力工具,并可作为有效的实验手段,揭示力学行为与其依存诸因素之间的内在关联.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德		165	1512	18.0	28.0
3	周向阳		8	42	4.0	6.0
5	王海容		29	262	10.0	15.0
11	俞瑞霞	西安交通大学机械工程学院	3	10	2.0	3.0