MEMS湿度传感器信号采集与数字化处理研究

• 作者: 王康 秦明
• 来源期刊: 电子工程师
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压阻式湿度传感器 信号采集 传输函数 封装设计
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 计算机与自动化技术
• 页码范围: 53-55,62
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.11
• 字数: 2235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4888.2008.11.017

摘要

MEMS(微电子机械系统)湿度传感器是利用标准的CMOS技术加上MEMS的后处理技术制造,以其体积小、响应快等优点受到越来越多的重视,介绍了本实验室研制的MEMS压阻式湿度传感器的测试原理、硬件电路的设计和传输函数模型的建立,以及软件设计和封装设计,最后给出了样机的测试结果.