光辅助对MoCVD法制备ZnO薄膜性能的影响

• 作者: 夏晓川 张宝林 张源涛 李香萍 杜国同 董鑫 赵旺 赵磊 马艳
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌薄膜 光辅助金属有机化学气相沉积 光学特性
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 第八届全国发光学学术会议研究论文
• 页码范围: 139-143
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3
• 字数: 3424字
• 语种: 中文

摘要

采用光辅助金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在(0001)蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜.通过X射线衍射、透射光谱和霍尔测试等研究了光照对MOCVD法制备的ZnO薄膜的影响.实验结果表明,引入光辅助后制备的ZnO薄膜,其结晶质量和光学质量均得到改善.分析认为,这主要是由于光辅助有助于提高锌有机源的分解效率,并且高能量的光子可为反应吸附的原子提供足够高的激活能,从而易于其迁移到合适的晶格位置所致.同时我们还发现,有光照和无光照条件下制备的ZnO薄膜均呈n型导电,但有光照条件下制备的ZnO薄膜具有更低的本底载流子浓度,这将为日后通过降低自补偿实现p型掺杂提供一个很好的解决办法.