添加EDTA电共沉积GaAs薄膜工艺研究

• 作者: 于翔 曹一江 王磊 韩爱珍
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 物理学
• 关键词: GaAs薄膜 电共沉积 络合剂 EDTA
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 395-399
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 2726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2008.04.003

摘要

采用恒电流电共沉积技术,以SnO2导电玻璃为基片制备了CaAs薄膜.通过观察实验过程和对比各次实验结果,研究了在电解液中加入络合剂EDTA对成膜质量的影响以及实验过程中的烧焦现象和电火花现象.采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)仪测试表明,沉积膜为GaAs多晶薄膜,加入络合剂EDTA明显改善了薄膜的表面形貌,提高了沉积膜的厚度,降低了各次实验数值分散性,而且使沉积膜中As与Ga的化学计量比更接近1:1.选择适当的沉积工艺可以避免烧焦和电火花的出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹一江	哈尔滨理工大学应用科学学院	29	98	5.0	8.0
2	王磊	哈尔滨理工大学应用科学学院	40	179	8.0	11.0
3	韩爱珍	哈尔滨工业大学航天学院	9	12	2.0	2.0
4	于翔	哈尔滨理工大学应用科学学院	1	1	1.0	1.0