类金刚石膜的性能、制备及其应用

• 作者: 刘慧舟 古宏伟 张华 杨坚 杨玉卫 金薇
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 制备工艺 应用
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 119-126
• 页数: 8页
• 分类号: O484.4
• 字数: 6277字
• 语种: 中文

摘要

类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构.由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点.本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨坚		34	201	6.0	13.0
2	刘慧舟		24	209	6.0	14.0
3	张华		20	152	5.0	12.0
4	古宏伟		33	206	6.0	13.0
5	金薇		5	40	2.0	5.0
6	杨玉卫		7	48	3.0	6.0