石英衬底上柱状多晶硅薄膜的制备

• 作者: 卢景霄 周伶俐 张丽伟 李瑞 李红菊
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 快速光热退火 柱状结晶 多晶硅薄膜 多晶硅薄膜太阳电池
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 369-372
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.02.034

摘要

利用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在已经预沉积有非晶硅薄膜的石英衬底上低温沉积了N/I非晶硅薄膜,对样品进行了两步快速光热(RTP)退火.采用Raman、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等测试仪器对样品退火前后的结晶状况和微观形貌进行了分析.结果表明,该N/I非晶硅薄膜退火后的晶化率达到了94%左右,断面形貌为柱状结构,样品中的平均晶粒尺寸约30nm,晶粒团簇的尺寸最大约1.5um.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丽伟	郑州大学教育部材料物理重点实验室	17	90	7.0	9.0
3	卢景霄	郑州大学教育部材料物理重点实验室	100	570	12.0	17.0
4	李红菊	郑州大学教育部材料物理重点实验室	7	32	3.0	5.0
5	李瑞		22	64	5.0	6.0
8	周伶俐		1	8	1.0	1.0