硅微陀螺仪的机械耦合误差分析

• 作者: 施芹 朱欣华 苏岩 裘安萍
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: 硅微陀螺仪 机械耦合误差 正交耦合误差
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 全国第六届精密工程学术研讨会专栏
• 页码范围: 894-898
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5
• 字数: 2566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.05.022

摘要

研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理.以z轴硅微陀螺仪为研究对象,以动力学方程和矩阵理论为基础,分析了由于加工非理想性产生的不等弹性、阻尼不对称和质量不平衡产生误差的信号,建立了机械耦合误差信号的数学模型,并定量分析了z轴硅微陀螺仪样品的机械耦合误差信号.结果表明,机械耦合误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号,其中正交耦合误差为主要误差信号,且主要由不等弹性产生.最后,测试了z轴硅微陀螺仪的正交耦合误差信号为342.59°/s,且与理论结果相吻合.因此,抑制和补偿正交耦合误差是减小机械耦合误差的关键技术之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏岩	南京理工大学机械工程学院	36	245	9.0	14.0
2	朱欣华	南京理工大学机械工程学院	27	168	7.0	11.0
3	裘安萍	南京理工大学机械工程学院	16	200	9.0	14.0
4	施芹	南京理工大学机械工程学院	13	167	9.0	12.0