HP40钢表面A12O3薄膜制备及抑制结焦性能研究

• 作者: 孙启凤 罗小秋 黄志荣
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: Al2O3薄膜 结焦 金属有机化学气相沉积 裂解炉 HP40钢
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TQL34.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2008.02.005

摘要

以仲丁醇铝(ATSB)为前驱物、氮气为载气,用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40钢表面沉积了Al2O3薄膜.采用光学金相显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)等仪器设备,研究了Al2O3薄膜组织结构及其抑制结焦的能力.实验结果表明,当沉积温度为350℃,以ATSB为前驱物在HP40钢表面制备了纳米晶Al2O3薄膜,该薄膜具有表面平整、均匀、致密的特点,且具有明显抑制结焦作用,结焦抑制率达到52.4%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄志荣	华东理工大学机械与动力工程学院	26	200	9.0	13.0
2	罗小秋	华东理工大学机械与动力工程学院	7	52	5.0	7.0
3	孙启凤	华东理工大学机械与动力工程学院	5	41	5.0	5.0