光谱响应在线测试仪的研制与应用

• 作者: 乔建良 常本康 牛军
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电阴极 激活 光谱响应 在线测试
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进的加工设备)
• 页码范围: 212-215
• 页数: 4页
• 分类号: TN247|TN036
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.03.008

摘要

基于光电阴极光谱响应测试原理,研制了光谱响应在线测试仪,经多次实验验证,准确度达到1 nA,完全能够检测出NEA激活过程中产生的微弱光电信号,且具有良好的重复性.利用该光谱响应测试仪,成功实现了激活台内负电子亲和势(NEA)光电阴极激活过程中的光谱响应在线测试,获得了光谱响应曲线,并将其转换成阴极的量子产额曲线.通过曲线拟合方法计算出反映阴极性能的重要参数,得到了大量的阴极信息,弥补了依靠光电流监控阴极信息的不足.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常本康	南京理工大学电子工程与光电技术学院	234	2020	19.0	30.0
2	乔建良	南京理工大学电子工程与光电技术学院	26	177	9.0	11.0
6	牛军	南京理工大学电子工程与光电技术学院	28	111	6.0	9.0