镀膜生产线真空室水屏蔽及辊道的检修保养

• 作者: 樊幸昌
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 镀膜玻璃 水屏蔽 辊道 检修保养
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 42-43
• 页数: 2页
• 分类号: TQ171
• 字数: 1798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2008.06.016

摘要

镀膜生产线真空室经过一段生产时间以后,会积累大量的膜层溅射物,主要是在水屏蔽及输送辊道上,真空室的污染严重影响产品质量,必须进行检修保养.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊幸昌		2	1	1.0	1.0