激光辐照引起Ge2Sb2Te5非晶态薄膜的电/光性质变化

• 作者: 侯立松 吴谊群 孙华军 魏劲松
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ge2Sb2Te5薄膜 激光辐照 电/光性质 光学常数 相转变
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1111-1114
• 页数: 4页
• 分类号: O471|O472|O484
• 字数: 2315字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.06.005

摘要

研究了激光辐照引起Ge2Sb2Tes非晶态薄膜的电/光性质变化,当激光功率为580mW时薄膜的方块电阻有四个数量级(107～103Ω/口)的突变;对电阻发生突变前、中、后的三个样品进行了XRD测试,结果表明,随着激光功率的增大,薄膜由非晶态向晶态转变,用椭偏仪测试了结构转变前、中、后三个样品的光学常数,在可见光范围内薄膜的光学常数在波长相同情况下有: n非晶态＞n中间态,k晶态＞k中间态＞k非晶态,α晶态＞α中间态＞α非晶态,结合电阻变化曲线和XRD图谱讨论了激光辐照Ge2Sb2Te5非晶态薄膜的电/光性质变化同激光功率和结构转变之间的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴谊群	中国科学院上海光学精密机械研究所	42	237	9.0	13.0
2	侯立松	中国科学院上海光学精密机械研究所	43	407	13.0	18.0
3	魏劲松	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	61	3.0	7.0
4	孙华军	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	13	2.0	3.0