自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性

• 作者: 刘明 姜辛 孙剑 张庆瑜 白亦真 谷建峰
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 声表面波滤波器 金刚石 ZnO薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 455-459
• 页数: 5页
• 分类号: O482.31
• 字数: 3393字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化.利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测.结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好.