直流电弧等离子体喷射在金刚石膜制备和产业化中的应用

• 作者: 吕反修 唐伟忠 宋建华 李成明 黑立富
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 直流电弧等离子体喷射 金刚石自支撑膜 金刚石膜涂层硬质合金工具 产业化
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 第九次全国热处理大会特约专栏
• 页码范围: 43-48
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 4968字
• 语种: 中文

摘要

综述了北京科技大学在直流电弧等离子体喷射CVD金刚石膜沉积系统研制和改进及大面积高质量(包括光学级)金刚石自支撑膜沉积的研究进展和产业化状况.用同样技术研发出了可用于复杂形状硬质合金工具金刚石膜涂层工具批量生产的强电流直流伸展电弧等离子体CVD金刚石膜涂层系统,讨论了利用该设备研发金刚石膜涂层硬质合金工具及其现场切削试验的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料学院	106	860	16.0	21.0
3	宋建华	北京科技大学材料学院	29	265	11.0	14.0
4	黑立富	北京科技大学材料学院	39	153	6.0	10.0
5	李成明	北京科技大学材料学院	71	480	12.0	19.0