基于MMIC工艺的片上射频LC无源滤波器

• 作者: 廖小平 张志强 武锐
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: LC无源滤波器 电感 电容 MMIC
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2437-2442
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.12.030

摘要

设计、制作了几种基于MMIC工艺的片上LC低通/带通滤波器并进行了测试.测试结果表明,一个3nH的MMIC电感在6.8GHz下品质因数达到13.8.自谐振频率达到15.5GHz;制作的LC低通/带通滤波器的截止频率或中心频率与设计偏差很小,分别为2%和3.3%;低通滤波器在各自通带内的插入损耗小于3dB,带通滤波器在中心频率的插入损耗为7.2dB.