静电驱动蝴蝶结状双端固支梁的节点分析法

• 作者: 李伟华 李敏 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 蝴蝶结状双端固支梁 节点法 伽辽金残余法 等效电路 MEMS
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2432-2436
• 页数: 5页
• 分类号: TN401
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.12.029

摘要

为了在节点化设计方法中对静电驱动的蝴蝶结状双端同支梁进行分析,采用伽辽金残余法建立了静电驱动梯形梁单元的节点化模型,在HSpice中构建了相应的等效电路模型.与有限元仿真结果及文献中给出的实验结果进行了比较,结果表明模型具有较高的精度,可在相关设计中作为参考.