玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池的制备

• 作者: 崔海昱 涂洁磊 王志刚 邓菊莲 龙维绪
• 来源期刊: 可再生能源
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃 多晶硅薄膜 太阳电池
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5292.2008.05.020

摘要

多晶硅薄膜太阳电池兼具单晶硅的高转换效率和多晶硅体电池的长寿命的特点,其制备工艺比非晶硅薄膜材料的制备工艺相对简化.文章介绍了多晶硅薄膜太阳电池材料制备工艺和材料性能;阐述了多晶硅薄膜太阳电池Si3N4膜的沉积和玻璃制绒等关键工艺;综述了玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池的发展现状.