AlN/SiO2-B2O3-ZnO-Bi2O3低温共烧玻璃陶瓷

• 作者: 赵宏生 高廿子
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 低温共烧陶瓷 AlN 硼硅酸盐玻璃
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TM281|TQ171.71
• 字数: 3256字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.01.018

摘要

制备了SiO2-B2O3-ZnO-Bi2O3系玻璃,并且与AlN液相烧结得到低温共烧玻璃陶瓷.分析了样品的相结构、形貌、介电常数、介质损耗、热导率和热膨胀系数等性能.结果表明:AlN与SiO2-B2O3-ZnO-Bi2O3系玻璃在950℃能够很好地烧结.该陶瓷的性能取决于烧结体的致密度和玻璃含量,当w(玻璃)为40%～60%时,陶瓷具有较低的εr(3.5～4.8)和tan δ[(0.13～0.48)×10-2]、较高的λ[5.1～9.3 W/(m·K)]以及与Si相接近的αl(2.6～2.8)×1-6·K-1],适用于低温共烧基板材料.