太阳能硅片双束激光划槽方法与装置

• 作者: 刘晓雯 姚建铨 张福军 朱超男 李玉翔 李福增 王涛
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: Z型谐振腔 双束激光 太阳能硅芯片
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 80-80
• 页数: 1页
• 分类号: TN248.1
• 字数: 1393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2008.06.035

摘要

本文提出一种太阳能硅片双束激光划槽方法和装置,它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器,声光Q开关调制,经直角棱镜发射双束激光,扩束聚焦输出到太阳能硅片表面,划槽最小线宽:20μm,最大划片速度:120mm/s、使生产率提高100%,节约能源30%.