基于AFM纳米机械刻蚀的分子动力学模拟研究

• 作者: 姚汤伟 胡礼广 蒋洪奎 陆爽
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 原子力显微镜 分子动力学 模拟 纳米机械刻蚀
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 577-581
• 页数: 5页
• 分类号: TH742.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2008.04.011

摘要

基于原子力显微镜AFM(atomic force microscope)的纳米机械刻蚀加工是扫描探针刻蚀加工技术( scanning probe lithography, SPL)的一个重要组成,目前已取得较大进展.但由于纳米机械刻蚀涉及原子的结构与运动,其加工机理尚有待于进一步研究.分子动力学模拟技术是近年来发展的继实验和理论研究后的又一重要研究方法.文章综述采用分子动力学模拟技术,研究基于AFM的纳米机械刻蚀加工的进展, 分析纳米尺度的加工机理,评述探针、刻蚀工艺、工件材料等因素对纳米机械加工过程的影响.文章最后指出今后研究的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆爽	浙江师范大学交通学院	14	129	6.0	11.0
2	姚汤伟	浙江师范大学交通学院	31	105	7.0	8.0
3	蒋洪奎	浙江师范大学交通学院	28	68	5.0	6.0
4	胡礼广	浙江师范大学交通学院	29	64	5.0	6.0