紫外激光荧光显微成像技术在光学薄膜损伤测试中的应用

• 作者: 汤秀章 高智星
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: KrF激光 光学薄膜 荧光 激光损伤
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 中国原子能科学研究院第21届"五四"青年学术报告会论文选
• 页码范围: 140-143
• 页数: 4页
• 分类号: O434.2|O77.4
• 语种: 中文

摘要

光致荧光显微成像是观测电介质材料超微结构缺陷的有效手段.本工作研究利用KrF激光器照射光学器件表面激发的荧光成像探测光学元件薄膜激光损伤.建立了KrF激光的光致荧光成像系统,并用以进行了紫外光学镀膜损伤的现场测试.测试结果与采用Normaski显微镜的测试结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤秀章	中国原子能科学研究院核技术应用研究所	55	159	7.0	9.0
2	高智星	中国原子能科学研究院核技术应用研究所	14	52	4.0	7.0